高精度電渦流傳感器SMT-9700精密厚度測量

高精度電渦流傳感器解決方案 

 在精確控制Z軸高度的過程中，晶片所在的位置必須精確地在能源的焦平面上。Kaman系統(tǒng)可以準(zhǔn)確測量Z軸的位置，并且提供了模擬和數(shù)字兩種輸出信號，以防止超出可承受范圍。

KAMAN 高精度電渦流傳感器測量系統(tǒng)采用渦流傳感器對被測物體進行高精度的厚度測量。根據(jù)被測目標(biāo)物體的性質(zhì)不同，系統(tǒng)采取兩種不同的測量方案。

導(dǎo)體厚度測量

  系統(tǒng)采用兩只渦流傳感器的探頭，放置在被測目標(biāo)物體的兩側(cè)。當(dāng)傳感器工作時，由于渦流作用，傳感器探頭分別獲取從探頭表面到對應(yīng)側(cè)的物體表面，然后經(jīng)過微處理器做信號處理，從而精確得到被測物體的厚度  

非導(dǎo)體厚度測量

由于一般被測的非導(dǎo)體材料不透光，因此單一的渦流傳感器和單一的激光傳感器均不能獨立完成測量。因此，我們采取兩種傳感器結(jié)合的方式。首先，選擇一個金屬感應(yīng)面（鋁合金，不銹鋼均可，在金屬平板的上方安裝渦流和激光綜合傳感器。將被測物體板放置在傳感器和金屬感應(yīng)面之間，渦流和激光傳感器分別測出傳感器到陶瓷板和金屬平面相接觸的下表面距離S1和高精度電渦流傳感器到陶瓷板上表面距離S2。則被測陶瓷板材料的厚度為C=S1-S2。 渦流傳感器的主要作用是事實測量陶瓷下表面距離傳感器的距離，這樣以防止任何其他的因素所帶來的影響

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