advantages
產品優勢

安全穩定可靠
具有性能安全穩定可靠,運行平穩性好等特點多種優勢
具有高剛性、高速度、高精度等優勢作業空間利用率高
適用于潔凈領域,輕量級設計使其與產線融于一體,作業空間利用率高技術
其控制技術,動作靈活輕巧快捷,操作持久耐用多種優良特性
滿足各類柔性化集成和生產等優良特性于一體
Application areas
產品應用領域
半導體晶圓搬運
parameter
產品參數
-
晶圓尺寸
φ200mm
-
負載重量
≤0.5Kg
-
R軸重復定位精度
±0.05mm
-
θ軸重復定位精度
±0.006°
-
Z軸重復定位精度
±0.05mm
-
R軸行程
≤703mm
-
T軸行程
360°
-
Z軸行程
35mm
-
真空度
<1×10-7 Torr
-
漏率
<1×10-9 std.cc/sec He
-
整機重量
50kg