advantages
產品優勢

一體成型設計
整機一體成型設計自主研發
自主研發FTR機械手,適配多類型300mm FOUP搭載雙口開盒器
后端搭載雙口開盒器(FIMS),實現Front N2 purge可選配
可選配Shelf N2 purge
Application areas
產品應用領域
氧化工藝立式爐管前端配套
退火工藝立式爐管前端配套
LPCVD工藝立式爐管前端配套
ALD工藝立式爐管前端配套
parameter
產品參數
-
外形尺寸
1745×1100×3500(mm)
-
工位數
18
-
負載
≤10kg
-
重復位置精度
±0.1mm
-
振動
≤0.3g