真空傳感器用于測量真空或低于大氣壓的壓力。真空是指低于大氣壓的壓力。由于永遠無法達到真正的真空，因此測量是關于幾乎沒有氣壓的。可以使用傳統的壓力傳感器測量真空；然而，由于信噪比差，它們通常無法解析極低濃度的氣體。真空傳感器依賴于氣體分子的物理特性，這些物理特性與每體積空間中此類分子的數量有關。

　　真空傳感器設計:

　　在真空范圍內工作的傳感器使用某種物理位移或材料特性變化來進行測量。中高真空傳感器利用環境特性（例如熱導率和電離）進行測量。

　　（1）低真空

　　低真空度可以使用機械方法來測量，例如下面列出的那些。

　　活塞技術使用密封的活塞/氣缸來測量壓力變化。機械偏轉使用彈性或柔性元件隨著壓力的變化而機械偏轉，例如隔膜、波登管或波紋管。

　　壓電壓力傳感器測量動態和準靜態壓力。雙向換能器由具有天然電特性的金屬化石英或陶瓷材料組成。它們能夠將壓力轉化為電勢，反之亦然。

　　微機電系統(MEMS)通常是通過硅表面微加工制造的微型系統，用于非常小的工業或生物系統。

　　振動元件（硅共振）使用振動元件技術，例如硅共振。

　　可變電容壓力儀表使用膜片元件運動產生的電容變化來測量壓力。該設備使用薄隔膜作為電容器的一個極板。施加的壓力導致膜片偏轉并且電容發生變化。膜片的偏轉會導致電容發生變化，該變化由橋式電路檢測到。板之間具有真空的電容式壓力傳感器非常適合通過保持材料的介電常數來防止錯誤。

　　應變計（應變敏感可變電阻器）與結構的部分粘合，這些部分會隨著壓力的變化而變形。應變計堅固、準確、穩定，可以在劇烈的沖擊和振動環境以及各種壓力介質中運行。應變計壓力傳感器有幾種不同的種類：粘合應變計、濺射應變計和半導體應變計。

　　半導體壓阻式傳感器基于半導體技術。電阻的變化不僅是因為長度和寬度的變化（就像應變計一樣），而且是因為電阻器內的電荷轉移。傳感器上的圖表區域內有四個壓敏電阻器連接到一個元件電橋。當膜片偏轉時，兩個電阻器承受切向應力，兩個承受徑向應力。

　　（2）中-高真空

　　在中高真空下，使用熱和分子設備測量真空更為準確。

　　導熱系數-使用皮拉尼計測量氣體的熱導率。它是一個簡單的設備，包含一個加熱板并測量該板所損失的熱量。熱量損失的數量取決于氣體壓力。皮拉尼壓力計有幾種設計。一種設計包括使用具有不同溫度的兩個板。用于加熱的功率量是氣體壓力的量度。另一種設計使用單個板通過對周圍區域的熱損失來測量氣體的熱導率。下圖中的儀表使用熱平衡技術，將傳感室分成兩部分，在一個部分填充參考壓力的氣體，另一個部分連接到正在測量的真空。每個腔室的尺寸、形狀和結構都相同，并包含一個加熱板。

　　電離計使用離子的真空計類似于真空管。離子電流和燈絲之間的關系是分子密度（壓力）的近似線性函數。工作原理與真空管規相同。然而，板被網格包圍的導線取代，而陰極燈絲在外面。有兩種類型可供選擇：熱陰極和冷陰極。這兩種類型的主要區別在于它們的電子產生方法。冷陰極器件通過高電位場從電極表面吸取電子。