三坐標測量機是60年代后期發展起來的一種高效的新型精良測量設備，目前被廣泛應用于機械、電子、汽車、飛機等工業部門，它不僅用于測量各種機械零件、模具等的形狀尺寸、孔位、孔中心距以及各種形狀的輪廓，特別適用于測量帶有空間曲面的工件。由于三坐標測量機具有高準確度、高效率、測量范圍大的點，已成為幾何量測量儀器的一個主要發展方向。
三坐標測量機的測量過程,是由測頭通過三個坐標軸導軌在三個空間方向自由移動實現的，在測量范圍內可到達任意一個測點。三個軸的測量系統可以測出測點在X，Y，Z三個方向上的準確坐標位置。根據被測幾何型面上若干個測點的坐標值即可計算出待測的幾何尺寸和形位誤差。另外，在測量工作臺上，還可以配置繞Z 軸旋轉的分度轉臺和繞X 軸旋轉的帶尖座的分度頭，以方便螺紋、齒輪、凸輪等的測量。
三坐標測量機按其精度分為兩大類：
精密型都可以測量機（UMM）：是一種計量型三坐標測量機，其精度可以達到1.5 ?m+2L/1000，一般放在有恒溫條件的計量室內，用于精密測量，分辨率為0.5?m，1或2?m，也有達0.2?m或0.1?m的。
生產型測量機（CMM）：一般放在生產車間，用于生產過程的檢測，并可進行末道工序的精加工，分辨率為5?m或10?m，小型生產型測量機也有1?m或2?m的。
三坐標測量機的結構形式分類

三坐標測量機系統的硬件構成和功能
三坐標測量機系統的硬件主要有三部分組成：
⑴ 終控制計算機和打印機：在三坐標測量機系統的硬件結構中，計算機是整個測量系統的管理者。計算機實現與操作者對話、控制程序的執行和結果處理、與外設的通訊等功能。
⑵ 數控設備及其外設：數控設備是計算機和測量機的接口（I/O，工具信號，緊急情況等）。數控設備通過由計算機傳來的數據計算出參考路徑，不斷地控制測量機的運動及與手提式控制盒的通訊。
⑶ 三坐標測量機：三坐標測量機的主體主要由以下各部分組成：底座、測量工作臺、立柱、X向支撐梁和導軌、Y向支撐梁和導軌、Z軸部件、測頭、驅動電機及測長系統。其結構形式（總體布局形式）主要取決于三組坐標的相對運動方式，它對測量機的精度和適用性影響很大.