光譜共焦傳感器又名共焦傳感器,共聚焦傳感器,白光色散傳感器。光譜共焦位移傳感器是一種通過光學色散原理建立距離與波長間的對應關系,利用光譜儀解碼光譜信息,從而獲得位置信息的裝置。
當被測物處于測量范圍內某一位置時,只有某一波長的光聚焦在被測面上,該波長的光由于滿足共焦條件,可以從被測物表面反射回光纖耦合器并進入光譜儀,而其他波長的光在被測物面表面處于離焦狀態,反射回的光在光源處的分布遠大于光纖纖芯直徑,所以大部分光線無法進入光譜儀。通過光譜儀解碼得到光強大處的波長值,從而測得目標對應的距離值。由于采用了光譜共焦傳感器,因此該方法具有良好的層析特性,提高了分辨力,并且對被測物特性和雜散光不敏感。
光譜共焦傳感器具有*的測量能力,可以穩定的測量任何材質(如,鏡面、玻璃、不銹鋼、白色陶瓷、高光金屬、基板等)無論什么表面均可在1μm內穩定測量。即使多種材質存在,用同一安裝方式也可以穩定測量。
光譜共焦傳感器具有*的角度特性,可測傾角87°
角度特性是指可測量樣品的大傾角。激光位移傳感器測量非平面時,因回光產生相差無法準確測量傾斜或曲面,采用光譜共焦測量技術可以保證即使被測物存在過大傾角或曲面,也可以進行高精度的形狀測量。針對漫反射表面光譜共焦位移傳感器測頭可以達到±87°,針對鏡面反射光譜共焦位移傳感器各種測頭基本都可以達到±20°以上。角度特性差會導致眾多異形位置無法正常測量。測量非平面表面,尤其針對3D玻璃輪廓、點膠膠水高度及高光金屬表面段差時,必須使用光譜共焦傳感器。
鏡面、透明、半透明體表面也可以有*的角度特性,使用光譜共焦傳感器,無需嚴格的角度調整就可以進行高精度測量。即使被測物在運動過程中的跳動也不會對測量造成過大的影響。光譜共焦傳感器可高精度測量透明體厚度,并可同時測量不同層面位置值。透明體上下表面均會有一個焦點存在,獲取上表面和下表面位置值,上下表面的位置差即是透明體的厚度值。
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