利用壓阻效應原理,采用集成工藝技術經過摻雜、擴散,沿單晶硅片上的特點晶向,制成應變電阻,構成惠斯凳電橋。利用硅材料的彈性力學特性,在同一切硅材料上進行各向異性微加工,就制成了一個集力敏與力電轉換檢測于一體的擴散硅傳感器。
選型須知
1、 傳感器、變送器的選擇
用戶根據自己所測壓力的性質,首先應確定選擇表壓(相對于當地大氣壓)、差壓、壓力或負壓品種。如果測量液位,還要確定液位上方是自由大氣壓還是密封容器壓力。如果測量密封承壓容器內的液位就應該選用差壓產品。
2、 產品量程的確定
從產品安全考慮,一般選擇使工作壓力值在標準量程值的60%-80%為宜,整個測量系統中可能出現的異常情況所導致的過載壓力不得超過產品允許的zui大過載。測量動態管路液體壓力時,還應考慮水垂效應,適當增大產品載量。
3、 產品精度選擇
產品等級按多項參數分檔,檔級越高,價格越貴。用戶可依據所檢測工況要求各項和某單項參數精度指標,以便用較低的價格實現較高的精度要求。產品給出的三項精度指標是采用zui小二乘法或端基平移法計算的。選用傳感器時,精度等級確定應根據測量系統分配發給傳感器的zui大誤差選項取。有時還應考慮零位時漂、零位和滿度溫度系數帶入的附加誤差。
4、 選擇產品的使用溫度范圍
有些系列的變送器在組裝了電路后又進行了綜合溫度補償。補償范圍在單項產品介紹中已標出。對于使用溫度范圍寬而又要求總精度高的用戶,還可在二次儀表數據處理中采用軟件執行溫度誤差修正。超過補償區使用,溫度系數指標可能會超標,但仍可使用。長期在溫度極限區工作,產品壽命將大大縮短。
5、 差壓傳感器、變送器的選擇
通用差壓傳感器、變送器通常使用在高壓端壓力高于低壓端壓力的正差壓情況下,雖然擴散硅傳感器都可同樣用于負差壓,一般兩引壓端基本對稱,但負壓端一般不另標定,如用戶要求兩引壓端高對稱性,需特別告知。低壓端在系統中有可能出現的超負量程使用。
6、頻響特性
擴散硅傳感器固有頻率相對于其它產品較高,除此之外更多的情況是傳感器結構的引壓腔結構參數影響和傳感器結構基體剛體的尺寸影響,后者不可能不限長,故主要還是引壓腔影響。
7、與被測介質的匹配
傳感器、變送器接囗和電子殼體由多種不同的結構材料生產。具有不同的介質兼容性,為了獲得*的使用效果,不致因介質不匹配而使產品損壞,用戶在選型定貨時應明白介質的準確名稱、濃度、溫度。
產品安裝使用注意事項
螺紋連接的產品在安裝和拆卸時,必須用扳手緊六方操作,安裝時不能擰的過緊,嚴禁夾持其它部位安裝、拆卸,避免損壞相關聯結部件。引壓孔端不得有尖硬物伸入,以免損毀敏感膜或隔離膜,嚴禁敲打、撞擊、摔跌。
擴散硅傳感器零位輸出不能直接采用單臂聯電阻法進行消除,可采用軟件歸零法、差動輸入修整法、T型電阻網絡修正等。
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