摘要：用微機(jī)械加工技術(shù)制造的典型產(chǎn)品是硅微型壓力傳感器，對(duì)此美國(guó)日本和歐洲均已形成產(chǎn)業(yè)。硅微型壓力傳感器近幾年來(lái)發(fā)展很快，該傳感器主要應(yīng)用于汽車工業(yè)和醫(yī)療保健領(lǐng)域。
　　
　　硅微型壓力傳感器的特點(diǎn)是體積小，重量輕，沒(méi)有活動(dòng)部件，可靠性高，又能大規(guī)模生產(chǎn)該傳感器，所以造價(jià)低。高可靠性，低成本對(duì)于汽車工業(yè)的要求可以說(shuō)是非常適合的，因此在汽車工業(yè)中迅速擴(kuò)展了它的應(yīng)用領(lǐng)域。如自動(dòng)剎車系統(tǒng)的壓車面壓力，輪胎壓力，氣囊壓力，傳動(dòng)系統(tǒng)流體壓力，注入系統(tǒng)流體壓力，注入燃料壓力，發(fā)動(dòng)機(jī)機(jī)油壓力。進(jìn)氣管道壓力都有硅微型壓力傳感器額用武之地。
　　
　　LUCASNOVASENSOR公司甚至采用微機(jī)械加工技術(shù)開(kāi)發(fā)了一種能直接埋入輪胎的壓力傳感器。它能在汽車輪胎壓力很低或輪胎在跑氣時(shí)向司機(jī)報(bào)警。*汽車每年的生產(chǎn)量高達(dá)幾千萬(wàn)輛，因此這是一個(gè)極有前途的市場(chǎng)。
　　
　　硅微型壓力傳感器在醫(yī)療保健領(lǐng)域里的zui大應(yīng)用產(chǎn)品是血壓監(jiān)視器。據(jù)稱一些大的醫(yī)療機(jī)械制造上每年要使用近500萬(wàn)只壓力傳感器。此外，如婦女難產(chǎn)時(shí)監(jiān)控子宮壓力用的硅微型壓力傳感器，靜脈注射監(jiān)控藥液流動(dòng)的傳感器等都是有相當(dāng)數(shù)量的市場(chǎng)需求。其他許多醫(yī)療保健方面的應(yīng)用也正在不斷開(kāi)發(fā)中。
　　
　　硅微型壓力傳感器基本上分成兩類：電容式和壓阻式。電容式的壓力傳感器包括一個(gè)薄膜，它作為可變空氣電容器的一個(gè)極板，當(dāng)薄膜上承受壓力時(shí)，薄膜產(chǎn)生位移，從而改變電容值，利用這種變化經(jīng)過(guò)相應(yīng)的電路處理，就可得到壓力值。壓阻式傳感器使用硅材料承受壓力時(shí)會(huì)產(chǎn)生電阻變化的原理制成，一般將4個(gè)硅材料的應(yīng)變電阻構(gòu)成惠斯通電橋來(lái)測(cè)量壓力。