一、按發生的故障的過程分，故障緩慢發生為見漸發性故障，故障突然發生為突發性故障

   二、按發生故障次序分，分為原發性故障和繼發性故障

   原發性故障，往往現在某局部發生小故障，此故障暫時未被發現或對真空泵運轉未造成大影響。

   繼發性故障，當繼續運轉時，原發性故障損壞的部分造成真空泵的不平衡或碎片進到鄰近運轉部分而造成“健康”的部分損壞，這情形再往后發展直至真空泵整體或抓藥部分毀壞二停止運轉，后面階段是繼發性故障。例如，一臺真空泵可能一開始葉片發生輕微的摩擦，然后葉片把缸體磨損的凹凸不平，仍運轉，磨損的缸體破壞擴大到卡主真空泵至停機。真空泵維修技術人員面對破壞的嚴重的缸體內壁，要全力找出什么是原發性故障，才能正確采取預防性措施。一般原發性故障過程較長，而繼發性故障則在短期內發生，作為真空泵故障診斷的*性就要在原發性故障剛發生時可診斷出來，及時采取維修措施，使損失較少。而當繼發性故障發生后才診斷出來的馬后炮式是不可取的，不但造成損失大，而且故障后分析故障原因困難，不利于以后的改進。