Busch密封圈0486000505希而科

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干式螺桿真空泵-工業(yè)

COBRA Industry 干式螺桿真空泵能高效運(yùn)行于眾多工業(yè)領(lǐng)域。該型號展現(xiàn)了在無油真空技術(shù)所擁有的多年經(jīng)驗，采用傳統(tǒng)軸承系統(tǒng)，是加工技術(shù)應(yīng)用的理想之選。 [2]

COBRA Industry

干式螺桿真空泵-半導(dǎo)體

COBRA Semicon 干式螺桿真空泵為工藝嚴(yán)苛的半導(dǎo)體、太陽能、平板顯示器生產(chǎn)及鍍膜行業(yè)提供有效的解

COBRA Semicon

決方案。具有不同版本：DS（行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、氣密、傳統(tǒng)軸承系統(tǒng)）、BA（氣密、懸掛式軸承系統(tǒng)、氣冷型）、BC（氣密、懸掛式軸承系統(tǒng)、水冷型）。所有這些真空泵都是專為半導(dǎo)體行業(yè)的復(fù)雜應(yīng)用而設(shè)計的。

羅茨真空泵

Panda 與 Puma 羅茨泵是無油運(yùn)行的真空泵，需配合前級泵使用，適用于所有需要大吸氣量的粗真空和高真

Panda/Puma(2張)

空應(yīng)用。此類加強(qiáng)型真空泵大大提高了前級泵的輸出。
　　Puma/Panda 系列類型真空泵：WP/WPA（工業(yè)用、標(biāo)準(zhǔn)型）、WV（工業(yè)用、帶旁通閥）、WY（半導(dǎo)體、氣密）、WZ（半導(dǎo)體、帶旁通閥、氣密）。 [3]

干式旋片真空泵及壓縮機(jī)

Seco

Seco 真空泵的工作方式基于成熟的旋片技術(shù)原理。由于使用自潤滑旋片，因此無需工作液潤滑。*采用無油干式壓縮的方式。通過*匹配的材料、腔體內(nèi)的特殊石墨旋片、有效的排熱和先進(jìn)的精密加工工藝，得以實(shí)現(xiàn)連續(xù)運(yùn)行時的高真空。

羅茨風(fēng)機(jī)

Tyr

三葉羅茨風(fēng)機(jī)依照羅茨系統(tǒng)原理工作：兩個平行的轉(zhuǎn)子在泵體內(nèi)以相反的方向運(yùn)轉(zhuǎn)。泵送介質(zhì)被密封在轉(zhuǎn)子和泵腔之間，并通過轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動，將其壓縮后泵送至排氣口。風(fēng)機(jī)入口配備有集成消音功能的進(jìn)氣過濾器。而被壓縮介質(zhì)經(jīng)風(fēng)機(jī)排放之前，它也將由排氣消音器處理后排出。驅(qū)動設(shè)備由電機(jī)及三角皮帶構(gòu)成。三角皮帶的驅(qū)動方式可使風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)速得到精確的調(diào)節(jié)以配合生產(chǎn)工藝。

液環(huán)真空泵及壓縮機(jī)

液環(huán)真空泵通常將水用作工作介質(zhì)。偏置葉片在部分填充液體的泵腔中旋轉(zhuǎn)。葉片的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動所產(chǎn)生的離心力使泵腔內(nèi)的液體形成液環(huán)。氣體在各葉片和液環(huán)之間的空間傳遞。由于葉輪偏置，空間增大，生產(chǎn)氣體通過吸入槽吸入；隨著葉輪繼續(xù)旋轉(zhuǎn)，空間減小，從而使氣體被壓縮并通過排出槽排出。真空泵可采用水循環(huán)的開環(huán)或閉環(huán)進(jìn)行操作。

側(cè)流風(fēng)機(jī)

Samos

Samos 側(cè)流風(fēng)機(jī)根據(jù)脈沖原理工作，旋轉(zhuǎn)葉輪產(chǎn)生的動能被傳送到泵送介質(zhì)并轉(zhuǎn)化成壓力。直接安裝在驅(qū)動電機(jī)軸上的葉輪和鋁外殼形成的側(cè)通道使得介質(zhì)在其中被壓縮，然后通過壓力側(cè)的消音器排出。直接安裝在驅(qū)動電機(jī)軸上的葉輪和鋁外殼形成的側(cè)通道使得介質(zhì)在其中被壓縮，然后通過壓力側(cè)的消音器排出。

渦旋真空泵

Fossa

渦旋真空泵主要由固定渦旋盤與驅(qū)動渦旋盤構(gòu)成。驅(qū)動渦旋盤在固定渦旋盤中轉(zhuǎn)動，產(chǎn)生一個旋轉(zhuǎn)輸送動作，將氣體從渦旋盤外緣吸入，然后將其在兩個渦旋盤間壓縮并輸送至渦旋盤中央。 [4]

渦輪分子真空泵

普旭（Busch）渦輪分子真空泵 TM 1100-2200 A 采用渦輪機(jī)工作原理。快速旋轉(zhuǎn)的渦輪葉片在定子葉片之間轉(zhuǎn)動。

Turbo

這種轉(zhuǎn)動將動能傳至真空泵內(nèi)無序的氣體顆粒，進(jìn)而將氣體分子從進(jìn)氣口通過壓縮傳送至真空泵的排氣口。

擴(kuò)散真空泵

Rangu

Rangu 擴(kuò)散真空泵的基本組件是一個圓柱形泵和可加熱底部。可加熱的油作為泵的工作液。油蒸汽上升進(jìn)入噴嘴系統(tǒng)，經(jīng)過幾道蒸汽流階段后在高壓下排出系統(tǒng)。工業(yè)廢氣中的分子被這些蒸汽流捕獲下移，流向前級泵出口。油蒸汽在水冷式泵機(jī)組內(nèi)凝結(jié)，直接返回機(jī)組底部。借助其多階段、創(chuàng)新的噴嘴理念，Rangu 擴(kuò)散真空泵可以提供*且穩(wěn)定的抽速。

真空系統(tǒng)

真空系統(tǒng)

通過全面了解影響選擇的因素，尋找較適合具體應(yīng)用的真空解決方案。普旭的系統(tǒng)工程師在設(shè)計過程中考慮各方面要求，根據(jù)其在眾多安裝項目中獲取的經(jīng)驗，為客戶量身定