GS600高精度激光干涉儀

要進行線性測量，需使用隨附的兩個外加螺絲將其中的一個線性反射鏡安裝在分光鏡上，這個組合裝置就是“線性干涉鏡”。線性干涉鏡放置在激光頭和線性反射鏡之間的光路上，用它的反射光線形成激光光束的參考光路，另一束光入射到線性反射鏡，通過線性反射鏡的線性位移來實現(xiàn)線性測量。如下圖所示

 激光干涉儀可用于精密機床、三坐標的定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度的測量。測量時在工作部件運動

過程中自動采集并及時處理數(shù)據(jù)。

軟件內(nèi)置10項常用機床檢驗標準，自動采集完數(shù)據(jù)后根據(jù)所選標準自動計算出所需誤差數(shù)據(jù)，為機床、三坐標的誤差修正提供依據(jù)。

 利用激光干涉儀對位移傳感器檢定成為發(fā)展趨勢，其特點是反應(yīng)速度快、測量精度高。

 準直平臺/傾斜工作臺的測量

由于角度鏡組的不同安裝方式，其測量結(jié)果代表不同方向的角度值。您可以結(jié)合實際需要進行安裝、測量。

  在直線度測量過程中，可以由直線度干涉鏡或者直線度反射鏡運動所產(chǎn)生相對于運動軸的橫向移動來進行測量，一般盡可能的采用直線度干涉鏡相對于直線度反射的運動，這樣操作有利于提高測量的準確性和精度。直線度測量可以對水平面和垂直面進行測量，這取決于直線度干涉鏡和反射鏡安裝的方法。

GS600高精度激光干涉儀 技術(shù)指標
系統(tǒng)性能

   測量方式：單頻

   穩(wěn)頻精度：0.05ppm

   動態(tài)采集頻率：50 kHz

   預(yù)熱時間：5-10分鐘

 工作溫度范圍：0-38℃

 環(huán)境溫度范圍：0-38℃，環(huán)境濕度：0-95%

 存儲溫度范圍：-20℃-70℃

環(huán)境補償示值誤差

 空氣溫度傳感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

 材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

 空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)

 大氣壓力傳感器：±0.1kPa

線性測量

 測量距離：0-40m

 測量精度：0.5ppm (0-38℃)

 測量分辨率：1nm

 測量速度：3m/sec

角度測量

 軸向量程：0-15m

 測量范圍：±10°

 測量精度：±（0.1+0.2%R+0.02M）″（R為顯示值，單位：″；M為測量距離，單位：m）

 測量分辨率：0.1″

平面度測量

 軸向量程：0-15 m

 測量范圍：±1.5 mm

 測量精度：±（0.6%R+0.02 M2）μm（R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m）

 基板尺寸：50mm、100mm、150mm

 測量分辨率：0.1μm

直線度測量

 軸向量程：0.1-4.0 m

 測量范圍：±3.5 mm

 測量精度：±（0.5+0.1%R +0.15M2）μm（R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m）

 測量分辨率：0.01μm

垂直度測量

 軸向量程：0.1-3.0 m

 測量范圍：±3.5mm

 測量精度：±（0.5+0.5%R+0.2M）″（R為顯示值，單位：″；M為測量距離，單位：m）

 測量分辨率：0.01μm/m

回轉(zhuǎn)軸分度精度測量

 角度測量范圍：0-360°

 精密轉(zhuǎn)臺角度增量：5°

 精密轉(zhuǎn)臺分度精度：±1″

 精密轉(zhuǎn)臺重復(fù)性：0.2″

尺寸重量與供電
 便攜箱尺寸：560×360×250（基礎(chǔ)系統(tǒng)），560×460×270（完整系統(tǒng)）

 基本重量(含三腳架，包裝)：15Kg

 供電電源：110~265VAC

 
系統(tǒng)組件：
1)SJ6000主機：1臺

2)環(huán)境補償單元：1臺

3)光學鏡組：

線性測量光學鏡組：1套（標準配置）

小型線性光學鏡組：1套（選配）

      小角度測量光學鏡組：1套（選配）

      直線度測量光學鏡組：1套（選配）

      垂直度測量光學鏡組：1套（選配）

      平面度測量輔助附件：1套（選配）

回轉(zhuǎn)軸測量精密轉(zhuǎn)臺：1套（選配）

4)測量軟件：1套

5)便攜式筆記本電腦：1臺

6)便攜式儀器配件箱：1個

7)通用三腳架：1個

8)云臺附件：1套

9)磁性表座：2套

10)產(chǎn)品使用說明書：1套

11)產(chǎn)品合格證、保修卡：1套

12)免費保修：1年

13)校準證書（選配）

激光頻率校準證書：

   1）由深圳市計量質(zhì)量檢測研究院出具；

   2）由其它機構(gòu)出具。

環(huán)境補償單元校準證書：
  1）由深圳市計量質(zhì)量檢測研究院出具；
   2）由其它機構(gòu)出具。
線性位移校準證書：
   1）由中國*出具；
  2）由其它機構(gòu)出具。
直線度校準證書：
  1）由中國*出具；
   2）由其它機構(gòu)出具。
小角度校準證書：
  1）由中國*出具；
  2）由其它機構(gòu)出具。

   3)夏、冬實驗室工作服各1件（選配）