Thermal Control system氣體溫控器
Thermal Control system氣體溫控器
電子器件的熱測試、半導體工藝工具中晶圓夾頭的冷卻、真空 室的冷氣體充氣、流變學、材料的低溫特性等。
• 連續(xù)冷卻 ThermoTST GC120氣體制冷機在不 進行預冷的情況下,將干燥氣體(如 氮氣、氬氣或空氣)從環(huán)境溫度冷卻 到低溫。氣體冷凍機是一種閉環(huán)制冷 系統(tǒng),它利用制冷劑對管內(nèi)換熱器進 行氣體冷卻。氣流是不循環(huán)的。
溫度范圍 | ≤ -120℃ |
性能 | ≤-120°C,制冷機輸出18SCFM |
預冷時間 | ≤ 20min |
系統(tǒng)操作 | 高清彩色觸摸屏,7”TFT |
系統(tǒng)語言 | 中文/英文 |
進/出氣接口 | 1/4”Rc Female 3/8”Rc Female |
通訊接口 | RS-232,LAN |
制冷劑 | 環(huán)保型冷媒 |
噪音 | ≤65dBA |
供氣氣源要求 | |
氣體 | 各種干燥氣體(如:氮氣,氬氣,氧氣等)或潔凈的壓縮空氣 |
氣體含油量 | 油分子:≤ 0.01ppm,過濾至0.1um的油霧污染物 |
進氣溫度 | +5°C至+25°C |
CDA時壓力露點 | < 10℃ @0.62Mpa(90PSI) |
CDA時進氣壓力 | 15 ~ 30SCFM(7.2至14.1L/s);標準25SCFM(11.8L/S) |
設備工作環(huán)境要求 | |
溫度 | +10 oC 至 + 25 oC |
相對濕度 | 5% 至 85% |
獨立安裝,體積小巧
可連續(xù)運行
已裝運,可隨時操作
采用單臺壓縮機,性能可靠
· 集成式氣體干燥器,無需 外置
· 風冷或水冷機型可選
· 專有制冷劑,符合環(huán)境氣 候協(xié)議
獨立安裝,體積小巧
可連續(xù)運行
已裝運,可隨時操作
采用單臺壓縮機,性能可靠
· 集成式氣體干燥器,無需 外置
· 風冷或水冷機型可選
· 專有制冷劑,符合環(huán)境氣候協(xié)議