北京東方晨景科技有限公司提供的三維磁場探針臺,采用無磁材料制成,三對類亥姆霍茲線圈正交放置,產生空間三維磁場,線圈采用水冷結構,并且配備有線圈過熱保護裝置,可以長時間穩定工作。通過軟件或者電源前面板控制每一維上的輸出電流,可以產生空間任意方向的矢量磁場。探針臺配備有可移動樣品臺,可以實現水平方向二維移動和樣品臺360度轉動,便于樣品的安裝和測試。探針臺具有四個高精度探針臂,同時配有高精度電子顯微鏡,便于微小樣品的觀察操作。探針可通過直流或者低頻交流信號,用來測試芯片、晶圓片、封裝器件等,廣泛應用于半導體工業、MEMS 、超導、電子學、鐵電子學、物理學、材料學和生物醫學等領域。
三維磁場探針臺和東方晨景自主研發的高精度雙極性電源相匹配,通過真正的雙極性電源輸出,實現了空間任意方向上的矢量場合成.
三維磁場探針臺參數
◆ X軸線圈外徑:640mm
◆ Y軸線圈外徑:470mm
◆ Z軸線圈外徑:260mm
◆ X軸線圈間距:240mm
◆ Y軸線圈間距:126mm
◆ Z軸線圈間距:100mm
◆ X軸線圈電流:≤14A
◆ Y軸線圈電流:≤14A
◆ Z軸線圈電流:≤14A
◆ X軸中心磁場:≥300Gs
◆ Y軸中心磁場:≥300Gs
◆ Z軸中心磁場:≥300Gs
◆ X軸均勻度(Φ20球體):0.1%
◆ Y軸均勻度(Φ20球體):0.07%
◆ Z軸均勻度(Φ20球體):0.5%
◆ 線圈冷卻形式:水冷
◆ 線圈工作溫度:<60℃
◆ 總重量:約330㎏
樣品臺參數
◆ 樣品臺直徑:102mm(可更換)
◆ X方向行程:±51mm
◆ Y方向行程:±51mm
◆ 旋轉角度:360°
◆ 旋轉精度:0.1°
◆ 材料:無磁
探針座參數
◆ X向行程:±6mm
◆ Y向行程:±6mm
◆ Z向行程:±6mm
◆ 分辨率:20μm
◆ 三圍尺寸:38W*62D*54H
◆ 重量:200克
注:探針座可選
探針參數
◆ 長度:38mm
◆ 直徑:0.51mm
◆ 針尖直徑:10μm
◆ 材料:鎢
注:探針可選
顯微鏡參數
◆ 成像元件:CMOS
◆ 成像原件像素:1000萬
◆ 有效像素:1280*1024
◆ 連續變倍:6X-600X
◆ 視場范圍:3.5mm-35mm
◆ 調焦范圍:65mm
◆ 鏡頭直徑:50mm
◆ 最小分辨率:1微米
◆ 十字光標:4組
◆ 輸出視頻:VGA
◆ 顯示器:19寸LCD
注:顯微鏡可選