顯微鏡 LED 曝光單元 UTA 系列是用于光刻的無掩模圖案投影曝光設備。

使用金屬顯微鏡和 LED 光源 DLP 投影儀，將分辨率為幾 μm 的任意圖案投影到涂有光刻膠的基板上進行曝光。您可以在計算機上自由創建圖案。

另外，可以保存創建的圖案。

與電子束光刻相比，它更便宜、更容易，因為可以在空氣中在各種大小和形狀的分層材料單晶薄片上形成電極。不需要制造昂貴的電極圖案掩模。

用途

● 薄膜 FET 的電極形成和空穴效應測量樣品

● 從原石的石墨烯鉬中取出剝離的（薄）片，用于評估石特性的電極形成

● 用于研發應用的圖案形成

特征
● 因為它是顯微鏡和 DLP 的組合相比現有系統更便宜的一種曝光設備

● 易于使用的專用軟件，可讓您輕松創建圖案

● 通過物鏡倍率，可以從精細圖案到進行大范圍的批量曝光

● 可以安裝到您自己的顯微鏡上（取決于顯微鏡的規格）

● 分辨率為幾微米的圖案成型也是可能的

● 曝光范圍：物鏡 5X：約 1.16×0.72mm / 物鏡 100X：約 60×35μｍ ※曝光范圍僅供參考

☆曝光前可以進行測試投影（因為是紅光，不會感光）

☆用白光曝光（曝光時間可以設置）