6英寸勻膠顯影機標準型 ACD6 COATER&DEVELOPER

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　　寧波潤華全芯微電子設備有限公司(ALLSEMI)，簡稱ASI，位于文化底蘊豐厚、風景秀麗、交通便利的寧波余姚市，在北京、武漢和廈門設有*分支機構。

　　公司匯聚了一批高素質專業人才，致力于民族半導體裝備產業的振興，專注于新型電子器件生產設備的研發、設計、銷售及售后服務。全芯公司與中國臺灣、韓國多家公司合作，可提供整線設備解決方案和電子科技領域內的技術咨詢服務。

　　公司通過ISO9001質量體系認證，秉承“專業、誠信、創新、共贏”的經營理念廣泛服務于化合物半導體、LED、SAW、 OLED、光通訊、MEMS、*封裝等新型電子器件制造領域，配備了快速響應的銷售和技術服務團隊。

　　寧波潤華全芯微電子設備有限公司將以*可靠的產品，優質的服務贏得客戶信賴，成為一家具有國際影響力的半導體裝備及工藝解決方案提供商。

顯影機

設備配置2C2D、4C、4D設備產能180WPH襯底材質Si、Glass、Sapphire、GaAs、InP、GaN、SiC、LT、LN等線寬0

6英寸勻膠顯影機標準型 ACD6 COATER&DEVELOPER 產品信息

設備配置	2C2D、4C、4D
設備產能	180WPH
襯底材質	Si、Glass、Sapphire、GaAs、InP、GaN、SiC、LT、LN等
線寬	≥0.35um
適用工藝	G-line、i-line、PI
應用領域	MEMS、功率器件、射頻集成、光通訊、LED、科研等
技術特征	?設備采用高速機械手、產能高，穩定性好； ?配置有RRC功能，光刻膠4寸用量可控制在0.6ml； ?設備故障、生產工藝參數等記錄等可長期保存備查； ?光刻膠采用精密計量泵供應，精度高，供液穩定，出膠量設定方便； ?可做兩種尺寸兼容，不需要更換零件； ?可選配光刻膠顯影液溫控, HMDS等單元部件。
設備尺寸	165014502040mm（WDH）