*密閉式的機體設計，*隔絕了紫外光外泄的情形。特殊設計的高功率燈源系統，保證了曝光的均勻度與高效率性。特點：● 分割分段懸浮式快速吸氣，改善傳統吸氣方式節省大量吸氣時間、整面吸氣中心向四周擴散● 曝光臺面均經精密測試、曝光量均勻，均勻度高達80%以上● 吸氣、曝光、放氣動作流程全自動完成。● 曝光動作可采取自動式或手動式、依操作人員需要自行調整。● 特殊規格式特殊光源可依光源可依需要定做。● 二次燈光結構*，運動速度快、準確度高。● 自動拉簾裝置.