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半自動(dòng)涂膠顯影機(jī)-愛(ài)姆加電子

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  • 公司名稱?陜西愛(ài)姆加電子設(shè)備有限公司
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  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2023/6/16 9:55:22
  • 訪問(wèn)次數(shù)572
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愛(ài)姆加電子設(shè)備有限公司專業(yè)從事半導(dǎo)體工藝設(shè)備的設(shè)計(jì)、生產(chǎn)。產(chǎn)品系列有:勻膠機(jī)、顯影機(jī)、半自動(dòng)勻膠顯影機(jī) 、全自動(dòng)勻膠顯影機(jī)、全自動(dòng)顯影機(jī)、半導(dǎo)體噴膠機(jī)、槽式(Wet Bench)及單片(Single Wafer)蝕刻_剝離_清洗設(shè)備、清洗甩干機(jī)、熱板烘烤(Hot Plate)、自動(dòng)涂膠顯影機(jī)|自動(dòng)砂輪劃片切割等設(shè)備;以及開(kāi)發(fā)研制、升級(jí)換代、維修服務(wù)。公司擁有一批多年從事半導(dǎo)體設(shè)備的機(jī)械、電氣、光學(xué)、計(jì)算機(jī)、以及從事半導(dǎo)體工藝線生產(chǎn)的專業(yè)的高中級(jí)工程技術(shù)人員,擁用CAD計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)開(kāi)發(fā)系統(tǒng)-FAB的MES等管理軟件,各類檢測(cè)儀器等*的設(shè)計(jì)手段. 產(chǎn)品適應(yīng)不同工藝等級(jí)的客戶要求,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽(yáng)能、MicroLED、MINILED\MEMS、PUMPING工藝、平板顯示及Photo-MASK等產(chǎn)品的清洗、濕法刻蝕、薄膜旋涂、噴涂、顯影、傳統(tǒng)后道封裝工藝。 公司提供二手機(jī)臺(tái)TEL/DNS、MARK-V\VZ、MARK7/8、ACT8等廠商設(shè)備的備品、備件及應(yīng)用材料的CMP設(shè)備維修翻業(yè)務(wù)。
特點(diǎn):手動(dòng)上下取片自動(dòng)滴膠、甩膠、勻膠供膠系統(tǒng)排風(fēng)系統(tǒng)可配EBR&BSR功能
半自動(dòng)涂膠顯影機(jī)-愛(ài)姆加電子 產(chǎn)品信息

半自動(dòng)涂膠顯影機(jī)  型號(hào):M+200D

            • 適用用圓片尺寸: 2”、3”、4”;以及5x5,10x10,25x25方片

            • 工藝工步:放置圓片(可輔助定中心) 啟動(dòng) 防濺罩到上位 真空吸片 防塵帽閉合 電機(jī)啟動(dòng) 吹氮?dú)? 低速滴膠 加速、高速勻膠 上刮邊 下刮邊

            • 電機(jī)停止 防塵帽開(kāi)啟 防濺帽到下位 去真空、卸片(工藝結(jié)束)以上各工步流程為自動(dòng)執(zhí)行,其中防塵帽、防濺帽、真空具有手動(dòng)功能;

            • 主軸徑向跳動(dòng)≤0.02mm,軸向竄動(dòng)≤0.04mm;

            • 主軸轉(zhuǎn)速:200~7000轉(zhuǎn)/分,誤差±20轉(zhuǎn)/分,連續(xù)可調(diào);

            • 主軸加速度(空載):0~3×103rad/秒2,連續(xù)可調(diào);

            • 工藝工步時(shí)間:0~999.9秒,設(shè)定增量±0.1秒;

            • 膠泵排出量:80立方厘米,滴膠量和速度可調(diào);

            • 適用膠液粘度范圍:-4~10000 厘施;

            • 主要指標(biāo)檢測(cè)方法;

            • 主軸徑向跳動(dòng)及軸向竄動(dòng)用百分表檢查;

            • 主軸轉(zhuǎn)速用轉(zhuǎn)速表檢測(cè),主軸加速度用記憶示波器檢測(cè);

            • 兩頭滴膠量應(yīng)基本一致,用目測(cè)無(wú)明顯差異;

            • 各氣路、液路應(yīng)密封可靠,無(wú)泄露現(xiàn)象;

            • 操作、觀察各機(jī)械、電器操作件及按鍵應(yīng)靈活可靠,各顯示應(yīng)準(zhǔn)確無(wú)誤;

            • 外觀目視應(yīng)平整、光滑,表面涂層不允許有脫落、破損等情況;

            • 設(shè)備干運(yùn)行16小時(shí),濕運(yùn)行16小時(shí)(轉(zhuǎn)速3500r/m)。結(jié)束后取下四氟密封套觀察其磨損情況。如有磨損應(yīng)及時(shí)檢查原因并進(jìn)行更換。

            • 接地可靠。

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