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5L等離子清洗機(jī)除了具有清洗功能外，在特定條件下還可根據(jù)需要改變某些材料表面的性能，在清洗過程中，小型等離子清洗機(jī)的輝光放電可以加強這些材料的粘附性、相容性和浸潤性。
這款等離子清洗機(jī)適合于實驗室和小型生產(chǎn)。采用13.56Mhz的射頻電源，能夠用來匹配各種常用氣體的等離子體。射頻電源的功率從100W到1000W之間有多種常用規(guī)格可供選配，能夠滿足用戶的多樣化需求。
5L等離子清洗機(jī)技術(shù)參數(shù)：
| 主要部件 | 指標(biāo)名稱 | 參數(shù)指標(biāo) |
| 清洗倉體 | 清洗倉材質(zhì) | 高純石英 |
| 清洗倉尺寸 | 直徑200mm;長度170mm | |
| 射 頻 電 源 | 電源特性 | 該電源為全固態(tài)射頻電源，采用高穩(wěn)定高可靠的功放模塊和直流模塊，有效保障了電源的射頻功率輸出。采用高質(zhì)量的電子元器件，使產(chǎn)品的可靠性得以保證。 |
| 電源優(yōu)勢 | ●可長時間正常運行 ● 電源效率高、發(fā)熱少 | |
| 射頻功率 | 0~500W連續(xù)可調(diào)/0~1000W連續(xù)可調(diào) | |
| 信號頻率 | 13.56MHz ±0.005% | |
| 反射功率 | ≤200W | |
| 功率穩(wěn)定度 | ±0.1% | |
| 射頻接頭 | N型頭 | |
| 整機(jī)效率 | ≥75% | |
| 諧波分量 | ≤-50 dBc | |
| 冷卻方式 | 強制風(fēng)冷 | |
| 氣 體 測 量 | 測量部件 | 浮子流量計 |
| 氣體通道 | 兩通道 | |
| A通道量程 | 10～100ml | |
| B通道量程 | 16～160ml | |
| 真 空 獲 取 | 真空測量 | 數(shù)字真空計（電阻規(guī)） |
| 真空抽取 | 雙極旋片泵 | |
| 電機(jī)轉(zhuǎn)速 | 50Hz時為：1440；60Hz時為：1720。 | |
| 抽氣速率 | 50Hz時為：1.1L/s；60Hz時為：1.3L/s。 | |
| 真空量程 | 0.1Pa～10000Pa | |
| 極限真空 | 0.5Pa | |
| 電機(jī)噪音 | ≤56dB | |
| 管道接口 | 進(jìn)氣口：KF16;排氣口KF16. | |
| 連接管道 | KF16真空波紋管 | |
| 真空閥門 | 電磁閥 | |
| 電機(jī)功率 | 400W | |
| 其 它 | 供電電源 | AC220V 50/60Hz |
| 整機(jī)功率 | 1000W/1500W | |
| 使用溫度 | -10℃ -- 40℃ | |
| 工作真空 | ≤40Pa | |
| 整機(jī)尺寸 | 600mmX650mmX730mm | |
| 整機(jī)重量 | 80kg（含包裝） |
5L等離子清洗機(jī)應(yīng)用領(lǐng)域：
金屬：去除金屬表面的油脂,油污等有機(jī)物及氧化層；
汽車制造：用于汽車制造過程中的塑料和噴漆前處理；
紡織品生產(chǎn)：用于紡織品,濾網(wǎng)和薄膜的親水性,疏水性和表面改性處理；
生物醫(yī)療：培養(yǎng)皿提高活性，血管支架，注射器，導(dǎo)管和各種材料的親潤，交合涂覆前處理；
航空航天：絕緣材料，電子元件等表面涂覆前處理；
電子：線路板的清洗和蝕刻。膠片，PP等材料的無氧化和活化處理，改進(jìn)可焊性；
半導(dǎo)體行業(yè)：晶圓加工及處理去除光刻膠，封裝前預(yù)處理；
LED：支架清洗封裝前預(yù)處理；
塑料橡膠：提高PS，PE，PTFE，TPE，POM，AS和PP等材料表面活性，使其利于粘接，印刷
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