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突破14nm工藝壁壘:天�(zhǔn)科技�(fā)布TB2000晶圓缺陷檢測(cè)裝備

2025�03�26� 09:57�(lái)源:天準(zhǔn)科技人氣�171

  �(kāi)啟國(guó)�(chǎn)缺陷檢測(cè)新紀(jì)�
 
  3�26日,蘇州天準(zhǔn)科技股份有限公司(股票代碼�688003.SH)宣布,旗下矽行半�(dǎo)體公司研�(fā)的明�(chǎng)納米圖形晶圓缺陷檢測(cè)裝備TB2000已正式通過(guò)廠內(nèi)�(yàn)證,將于SEMICON 2025展會(huì)天準(zhǔn)展臺(tái)(T0-117)�(xiàn)�(chǎng)正式�(fā)布�
 
  這標(biāo)志著公司半導(dǎo)體檢�(cè)裝備已具�14nm及以下先�(jìn)制程的規(guī)模化量產(chǎn)檢測(cè)能力。這是繼TB1500突破40nm節(jié)�(diǎn)后,天準(zhǔn)在高端檢�(cè)裝備�(guó)�(chǎn)化�(jìn)程中的又一里程碑�
 
  核心技�(shù)自主研發(fā)
 
  TB2000采用全自主研�(fā)的高功率寬光譜激光激�(fā)等離子體光源系統(tǒng)、深紫外大通量高像�(zhì)成像系統(tǒng),配合高行頻TDI相機(jī)、超精密高速運(yùn)�(dòng)平臺(tái),同�(shí)�(jié)合AI圖像處理算法和Design CA,有效提升缺陷檢�(cè)靈敏度和檢測(cè)速度�
 
  TB2000的發(fā)布,使天�(zhǔn)成為全球少數(shù)具備14nm及以下技�(shù)節(jié)�(diǎn)明場(chǎng)檢測(cè)裝備交付能力的廠商,逐步�(shí)�(xiàn)先�(jìn)工藝中缺陷檢�(cè)裝備的國(guó)�(chǎn)替代�
梯度化矩陣實(shí)�(xiàn)全節(jié)�(diǎn)覆蓋
 
  �(dāng)前天�(zhǔn)科技的產(chǎn)品矩陣已完成明場(chǎng)缺陷檢測(cè)裝備全制程覆蓋,TB1000/TB1100(65-90nm)、TB1500(40nm)及TB2000(14nm)�(gòu)建起完整的工藝節(jié)�(diǎn)適配體系,全面滿足邏輯、存�(chǔ)等不同工藝客戶產(chǎn)線上的明�(chǎng)缺陷檢測(cè)需求。這種梯度化布局既保障了技�(shù)研發(fā)的商�(yè)閉環(huán),又為持�(xù)突破更先�(jìn)制程積蓄�(dòng)能。從TB1000到TB2000的技�(shù)演�(jìn),折射出天準(zhǔn)向國(guó)際龍頭追趕到并行的角色轉(zhuǎn)變�
 
  此外,天�(zhǔn)科技通過(guò)"自主研發(fā)+跨國(guó)并購(gòu)+生態(tài)投資"三維�(zhàn)略,陸續(xù)推出晶圓微觀缺陷檢測(cè)、Overlay量測(cè)、CD量測(cè)、掩膜量�(cè)與檢�(cè)等系列產(chǎn)品組合,打造了在半�(dǎo)體前道量�(cè)及檢�(cè)�(lǐng)域的布局,構(gòu)建覆蓋晶圓制造、掩膜制造、封裝測(cè)試全流程的智能檢�(cè)解決方案�
 
天準(zhǔn),助力半�(dǎo)體產(chǎn)�(yè)迭代
 
  �(jù)世界集成電路�(xié)�(huì)(WICA)�(fā)布的2025年展望報(bào)告,�(yù)�(jì)2025年全球半�(dǎo)體市�(chǎng)�(guī)模將提升�7189億美元,同比增長(zhǎng)13.2%,尤其是14nm及以下的高端檢測(cè)裝備市場(chǎng),受到技�(shù)迭代和市�(chǎng)需求增�(zhǎng)的雙重驅(qū)�(dòng),將繼續(xù)保持快速增�(zhǎng)�(tài)�(shì)�
 
  此次TB2000的發(fā)布,意味著在半導(dǎo)體產(chǎn)�(yè)逆全球化�(tài)�(shì)加劇的當(dāng)下,天準(zhǔn)科技以每年迭代一代產(chǎn)品的研發(fā)節(jié)奏,�(gòu)建起覆蓋芯片制造前道關(guān)鍵檢�(cè)節(jié)�(diǎn)的技�(shù)�(hù)城河。未�(lái),天�(zhǔn)科技將持�(xù)投入研發(fā)資源,持�(xù)深化平臺(tái)化技�(shù)�(yōu)�(shì),加速推�(jìn)14nm以下制程�(guó)�(chǎn)化�(jìn)程,助力中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)�(yè)突破"卡脖�"技�(shù)壁壘,在高端裝備�(lǐng)�?qū)崿F(xiàn)跨越式發(fā)展�
 
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