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科研團(tuán)隊(duì)利用3D視覺測(cè)量技術(shù)助力國(guó)產(chǎn)芯片外觀檢測(cè)

2022-03-17 10:30:50來源:合肥物質(zhì)科學(xué)研究院 關(guān)鍵詞:3D視覺測(cè)量國(guó)產(chǎn)芯片芯片閱讀量:23301

導(dǎo)讀:中科院合肥研究院智能所仿生智能中心在自主開發(fā)的軟件平臺(tái)上實(shí)現(xiàn)了3D視覺測(cè)量技術(shù)、視覺缺陷檢測(cè)等技術(shù)的融合,解決了國(guó)產(chǎn)GPU——凌久GP102的外觀檢測(cè)問題。目前首臺(tái)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的BGA芯片外觀檢測(cè)設(shè)備已正式交付并通過驗(yàn)收。
  近期,中科院合肥研究院智能所仿生智能中心在自主開發(fā)的軟件平臺(tái)上實(shí)現(xiàn)了3D視覺測(cè)量技術(shù)、視覺缺陷檢測(cè)等技術(shù)的融合,解決了國(guó)產(chǎn)GPU——凌久GP102的外觀檢測(cè)問題。目前首臺(tái)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的BGA芯片外觀檢測(cè)設(shè)備已正式交付并通過驗(yàn)收。
 
  為滿足芯片出廠質(zhì)量控制和芯片可追溯性需求,科研團(tuán)隊(duì)經(jīng)過半年的產(chǎn)品研發(fā)和測(cè)試工作,成功研制出具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的BGA芯片外觀檢測(cè)設(shè)備A3DOI-BGA,該設(shè)備可批量采集芯片的三維圖像數(shù)據(jù)、平面RGB圖像數(shù)據(jù)、激光點(diǎn)云數(shù)據(jù)等,結(jié)合傳統(tǒng)及人工智能算法,實(shí)現(xiàn)測(cè)量精度、缺陷識(shí)別率等各項(xiàng)性能指標(biāo)的完全達(dá)標(biāo),部分指標(biāo)可超越相關(guān)進(jìn)口檢測(cè)設(shè)備。該設(shè)備的核心傳感器均來自國(guó)產(chǎn),具備微米級(jí)別超高測(cè)量精度,可兼容多種BGA封裝芯片檢測(cè),實(shí)現(xiàn)芯片成品3D形貌測(cè)量。
 
  A3DOI-BGA的成功交付標(biāo)志著團(tuán)隊(duì)自主研發(fā)的3D視覺測(cè)量技術(shù)正式走出實(shí)驗(yàn)室,為國(guó)內(nèi)的芯片制造用戶提供專業(yè)、高精度、可靠的視覺技術(shù)服務(wù)和成套檢測(cè)設(shè)備。
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