液氮探針臺LNPS-80可以對器件進行非破壞性的測試,器件的尺寸可達到80mm。可以對材料或器件的電學特性、光電特性等效應進行測量,為DC測量RF測量和微波特性測量提供一個低溫測試平臺。納米電子材料、量子線、量子點和半導體材料是在探針臺上進行測量的比較典型的材料。探針臺系統的探針、測試電纜、樣品臺都有多種類型可供選擇,從而滿足不同用戶的需要。
LNPS-80的溫度變化范圍從80K到425K,系統需要使用液氮實現變溫,防熱輻射屏大大降低了黑體輻射,提高了制冷效率,減少了液氮消耗。樣品臺上裝有溫度傳感器和加熱器,實現樣品臺快速變溫以及精準控溫。
液氮探針臺LNPS-80具有四個可以進行微調的探針臂,每個探針臂上的探針都可以進行三維方向上的精準定位。探針采用鈹或者鎢制成,針尖直徑10微米,減少探針對樣品的熱傳導。每個探針臂都采用304優質不銹鋼加G10制作而成,每個探針臂都進行有效的熱沉,減小探針臂漏熱進而減少探針對樣品的漏熱。
為了提高系統的實用性和操作性,系統配備了高放大倍數的顯微鏡。
LNPS-80降溫曲線
LNPS-80控溫曲線