智能制造網APP
智能制造網手機站
智能制造網小程序
智能制造網官微
智能制造網服務號
產品詳情
島津場發射電子探針EPMA-8050G 開創新紀元——的空間分辨率與超高靈敏度的結合
“The Grａnd EPMA” 誕生
搭載場發射電子光學系統將島津EPMA分析性能發揮到。
從SEM觀察條件到1μA量級，在各種束流條件下都擁有空間分辨率的場發射電子光學系統。結合島津傳統的高性能X射線譜儀，將分析性能發揮至。
當之無愧的 “The Grａnd EPMA” ，水準的EPMA誕生！
[性能特點]
● 的空間分辨率
電子探針可達到的別的二次電子圖像分辨率3nm（加速電壓30kV），分析條件下的二次電子分辨率。
（加速電壓10kV時20nm@10nA/50nm@100nA/150nm@1μA）
● 大束流超高靈敏度分析
實現3.0μA（加速電壓30kV）的束流。可超高靈敏度進行超微量元素的面分析。并且全束流范圍無需更換物鏡光闌。
● 高性能X射線譜儀
秉承島津電子探針頗具優勢的52.5°X射線取出角。采用4英寸羅蘭圓半徑的分光晶體兼顧高靈敏度與高分辨率。可同時搭載5通道高性能X射線譜儀。分析性能更勝。
● 全部分析操作簡單易懂
全部操作僅靠一個鼠標就可進行的*可操作性。追求「易懂」的人性化用戶界面。搭載導航模式，自動指引直至生成報告。
◎實現微區超高靈敏度分析的*技術
1、高亮度肖特基發射體
島津場發射電子槍采用的肖特基發射體比一般傳統SEM使用的發射體針尖直徑更
大，輸出更高。即可以保持其高亮度，還可提供高靈敏度分析*的穩
定大電流。
2、 EPMA專用電子光學系統
電子光學系統，聚光透鏡盡可能的接近電子槍一側，交叉點不是靠聚光透鏡
形成，而是由安裝在與物鏡光闌相同位置上，具有獨立構成與控制方式的可
變光闌透鏡來形成交叉點的（日本：第4595778號）。簡單的透鏡結
構，既能獲得大束流，同時全部電流條件下設定最合適的打開角度，將電子
束壓縮到最細。當然是不需要更換物鏡光闌的。
3、超高真空排氣系統
電子槍室、中間室、分析腔體之間分別安裝有篩孔（orifice）間隔方式的2
級差動排氣系統。中間室與分析腔體間的氣流孔做到最小，以控制流入中
間室的氣體，使電子槍室始終保持著超高真空，確保發射體穩定工作。
4、高靈敏度X射線譜儀
島津場發射電子探針最多可同時搭載5通道兼顧高靈敏度與高分辨率的4英寸X射線譜儀。
52.5°的X射線取出角在提高了X射線信號的空間分辨率的同時，又可減小樣品對X射線
的吸收，實現高靈敏度的分析。
[應用舉例]
1. 島津場發射電子探針EPMA-8050G檢測：無鉛焊錫焊料中Ag與Cu的分布
對無鉛焊錫焊料中大量含有Ag的區域進行面分析的數據。（加速電壓：10kV；照射電流：20nA）
Ag的X射線像中顆粒形狀與BSE像（COMPO）的顆粒形狀一致。直徑約0.1μm的Ag顆粒也清晰可辨（紅色虛線圈出）。同時可確認Cu顆粒的存在（黃色虛線圈出）。
島津場發射電子探針EPMA-8050G應用數據
2. 島津場發射電子探針EPMA-8050G檢測：生物體組織中的金屬元素
以下數據為EPMA捕捉到的腫瘤細胞中鉑（Pt）元素圖像，通過靶向給藥將抗腫瘤藥物（鉑絡合物）導入小鼠頭頸部腫瘤組織中后進行分析檢測。
通過與癌細胞內的遺傳因子DNA鏈結合，阻礙DNA的分裂（復制）以殺滅癌細胞，我們可以通過元素圖像了解抗癌藥物以何種形態進入癌細胞內。
島津場發射電子探針EPMA-8050G應用數據
